电子束蒸发镀膜仪

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  • EB-400S

    • 金属类材料镀膜

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    简介

        电子束镀膜技术是真空镀膜技术的一种,可蒸发高熔点、低气压的金属材料,同时也是制备高纯度薄膜的主要方法。它是在高真空状态下由电子束加热坩埚中的金属材料,使其熔融后蒸发到所需基片上在冷却作用下形成金属膜。

    仪器概况

        1.极限真空度:≤5×10-7 Torr

        2.电子枪功率: 10KW高压电源

        3.蒸发速率:0.1-0.5Å/s(铝)

        4.可蒸发金属膜:Al、Ti、Pt、Au、Ag、Cu、Ni和Cr等

        5.膜厚度误差 ≤±5%,膜厚均匀性误差 ≤±5% 

    优点

        1.电子束蒸镀比较环保,薄膜的品质较高,应用范围广泛。

        2.电子束蒸发镀膜仪可蒸发高熔点材料,在蒸镀合金时可以实现快速蒸发,有效避免了合金的分馏。

        3.电子束蒸镀法采用沉积的方法,可有效避免坩埚材料的污染。


用户评价

5分

实验质量
5.0
实验速度
5.0
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