四探针测电阻率

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        四探针测试仪是按照单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准而设计的,仪器由主机、测试台、四探针探头、计算机等部分组成,测量数据既可由主机直接显示,亦可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析,然后以表格,图形方式统计分析显示测试结果。广泛应用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试。它具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。


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